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性 狀：
用 途：
檢驗(yàn)報(bào)告：
白色吸濕性粉末
關(guān)鍵字：<四氟化鈦>、<氟化物_>、<電子化學(xué)品>
用 途：
用于成膜材料及離子注人摻雜。在微電子工業(yè)上用于化學(xué)氣體沉積，以制作低電阻、高熔點(diǎn)的互連線等
檢驗(yàn)報(bào)告：
檢驗(yàn)報(bào)告
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品名 |
四氟化鈦 |
CAS:7783-63-3 |
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性狀 |
白色吸濕性粉末 |
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化學(xué)式 |
TiF4 |
純度: |
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測試項(xiàng)目 |
測試結(jié)果 |
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含量 |
≥98.5% |
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氯化物 |
≤0.15% |
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氟硅酸鹽 |
0.2% |
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鐵 |
0.1% |
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硫酸鹽 |
0.1% |
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重金屬 |
0.1% |
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